权威国防科技信息门户
国防科技大数据智能情报平台
DSTIS征订中
DPS国防术语智能定位系统
国外国防科技文献资料快报
公告:
DSTIS国防军工信息资源内网服务系统2019年征订开始  
PMN-PT材料创建主动微机电系统
2011-11-28
[据微新闻网站2011年11月26日报道] 美国威斯康星大学麦迪逊分校材料科学与工程及物理学教授严昌范(Chang-Beom Eom)领导了一支团队,进行铌镁酸铅-钛酸铅(PMN-PT)的研究,他们掌握了这种材料的压电特性,在同样的电场下比传统的压电材料能提供更多的机械位移,并利用这种材料压电特性制造了主动(hyper-active)微机电系统。

这支团队使用晶片制造技术将PMN-PT分层堆积到硅衬底上,而不是一开始就大量生产压电材料并研磨使用在近纳米器件中。这种原子级加工控制技术阻止了不同组件之间的化学反应。

严昌范的团队将PMN-PT放到一个硅衬底上,增加了一个非常薄的钛酸锶层作为一个模板并模拟了硅的结构。然后,锶钌层当作电极。最后,单晶压电材料使用PMN-PT。

严昌范表示,他们的研究人员已经测试了PMN-PT材料的压电响应,和理论预测是一致的,这种压电特性和大多数单晶材料性能一样好。

最后研制出的器件称为主动MEMS。这种材料还能用于制造压电MEMS。

主动MEMS器件应用在信号处理、通信、医学影像及纳米定位执行器,可以降低功耗并提高执行器的速度和传感器的灵敏度。此外,通过一个能量收集的过程,主动MEMS器件可以把输入源能量转换为电能,如机械振动转换成电能,为其他一些如无线通信的小型设备供电。

(工业和信息化部电子科学技术情报研究所 冯园园)

相关新闻

DSTIS 国防科技工业信息服务系统
中国核科技信息与经济研究院 中国航天系统科学与工程研究院 中国航空工业发展研究中心
中国船舶工业综合技术经济研究院 中国船舶信息中心 北方科技信息研究所 工业和信息化部电子科学技术情报研究所
DSTI简介 | 大事记 | 网站动态 | 产品介绍 | 广告服务 | 客户服务 | 联系方式 | 共建单位 | 合作媒体  
国防科技信息网 dsti.net © 2006 - 2020 版权所有 京ICP备10013389号