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美海军研究实验室开发新型激光加工技术用于辐射探测器
2010-07-05
[海军研究实验室网站2010年7月2日报道]海军研究实验室(NRL)的科学家已经开发了新的激光加工技术用于辐射探测器。海军研究实验室团队主管Bernard Phlips解释说:“新的探测器将会促进下一代空基高能辐射天文研究,也可用于国土安全。”

海军研究实验室空间科学部辐射检测小组正在研发基于孔或沟槽阵列半导体的新型辐射探测器。这些探测器通常被称为三维(3-D)探测器,基于一种广泛间距孔阵列用于横向枯竭和能量采集。这减少了设备的厚度和电压损耗,从而降低材料的质量要求和探测器的材料成本。这种辐射探测器尺寸更小,重量更轻,功耗大大低于现今最先进的设备。

海军研究实验室研究小组开发了新方式用于激光微机械孔阵列,采用多种半导体,包括硅(Si)、碲化镉(CdTe)和磷化铟(InP)。他们采用的新型再生产制造方法是三维孔阵列探测器发展过程中的关键一步。激光加工产生的孔比标准制造技术有更高的直径深比。例如,海军研究实验所开发的激光微加工硅孔阵列径比高达100:1,而传统技术最多只有40:1。

海军研究实验室的激光微加工孔阵列工作正在纳米科学研究所(NSI)进行,该所刚刚安装了新型Oxford激光E系列微加工系统,使这项工作成为可能。(工业和信息化部电子科学技术情报研究所陈  皓)

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